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硅基Pt襯底
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硅基Pt襯底

Si-Pt硬質(zhì)襯底 Si/Pt襯底材料 硅基耐高溫 壓電效應 佛山卓膜科技

可用于制作各種電子器件壓電材料的襯底,可為各種電子器件提供極好的穩(wěn)定性和可靠性??蓮V泛應用于傳感,微驅(qū)動,紅外探測,能量收集等高精技術(shù)領域,特別在智能穿戴、醫(yī)療健康、綠色能源、汽車及手機用電子部件等市場領域。可為客戶定制各種器件。

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產(chǎn)品介紹
Si-Pt硬質(zhì)襯底的耐熱性好,耐熱800°C以上,適用于各種高溫場景??捎糜谥谱鞲鞣N電子器件壓電材料的襯底,可為各種電子器件提供極好的穩(wěn)定性和可靠性。可廣泛應用于傳感、微驅(qū)動紅外探測、能量收集等高精技術(shù)領域,特別在智能穿戴、醫(yī)療健康、綠色能源、汽車及手機用電子部件等市場領域。可為客戶定制各種器件。


產(chǎn)品參數(shù)

標準結(jié)構(gòu)Si基片
產(chǎn)品尺寸表面粗糙度
耐熱溫度產(chǎn)品特點

Si+SiO2+Ti+Pt(111)

SiO2: 300nm

Ti: 20nm

Pt: 150nm

P型摻B

電阻率:≥1 ohm.cm

單面拋光



10mm×10mm,20mm×20mm

dia 2"~6"



RMS<1.5nm
~800℃ 1hr
穩(wěn)定性好、耐高溫、可廣泛應用、支持產(chǎn)品定制


應用范圍

1)智能穿戴:為生活智能化提供解決方案。

2)醫(yī)療健康:更方便獲取生命信息。

3)綠色能源:環(huán)保節(jié)省燃料、減少排放。

4)汽車電子部件:提高工業(yè)生產(chǎn)效率和品質(zhì)。

5)手機電子部件:提高工業(yè)生產(chǎn)效率和品質(zhì)。

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