柔性PZT壓電薄膜

研發(fā)用材料，壓電性能好，柔性可彎曲，晶向可控，帶Pt電極

高壓電特性的PZT材料能廣泛運(yùn)用于光電子學(xué)、微電子學(xué)、微機(jī)電系統(tǒng)和集成光學(xué)等領(lǐng)域。柔性材料特別適用于能量收集，在力學(xué)上可以測(cè)量應(yīng)力和應(yīng)變，在振動(dòng)中可以制作加速度計(jì)和振動(dòng)模態(tài)傳感器，在聲學(xué)上可以制作聲輻射模態(tài)傳感器和超聲換能器，在機(jī)器人研究應(yīng)用中可以用作觸覺(jué)傳感器，還可用于醫(yī)療器件上，如心臟起搏器的壓電式發(fā)電站等。

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產(chǎn)品介紹

高壓電特性的PZT材料能廣泛運(yùn)用于光電子學(xué)、微電子學(xué)、微機(jī)電系統(tǒng)和集成光學(xué)等領(lǐng)域。柔性材料特別適用于能量收集，在力學(xué)上可以測(cè)量應(yīng)力和應(yīng)變，在振動(dòng)中可以制作加速度計(jì)和振動(dòng)模態(tài)傳感器，在聲學(xué)上可以制作聲輻射模態(tài)傳感器和超聲換能器，在機(jī)器人研究應(yīng)用中可以用作觸覺(jué)傳感器，還可用于醫(yī)療器件上，如心臟起搏器的壓電式發(fā)電站等。

產(chǎn)品參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)	產(chǎn)品尺寸	產(chǎn)品厚度	最小彎曲半徑	壓電系數(shù)	相對(duì)介電常數(shù)	產(chǎn)品特性
PZT+Pt+柔性襯底	50mm*50mm	PZT：1um-3um（可定制）整體厚度：≈50um	＜5mm	柔性材料在測(cè)量過(guò)程中容易引入外應(yīng)力，故無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)量	≈1100	1.晶向可控 2.高介電常數(shù)、低聲波速度、高耦合系數(shù)、縱向及橫向壓電系數(shù)高 3.均勻性、溫度穩(wěn)定性好