? ? ? ? 壓電薄膜的制備方法主要有傳統(tǒng)的真空鍍膜方法，包括真空蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜、化學(xué)氣相沉積鍍膜是制備厚度在0～18μm，新型溶膠凝膠法、水熱法、電泳沉積法是制備10～100μm的壓電厚膜材料。

? ? ? ? 壓電厚膜通常是指厚度為10～100μm的壓電膜,與薄膜相比,它的壓電、鐵電性能較少受界面、表面等的影響；由于它的厚度比較大，所以這種材料也能產(chǎn)生大的驅(qū)動力,且具有更寬的工作頻率；與塊體材料相比，其工作電壓低、使用頻率高、與半導(dǎo)體工藝兼容。