近期，來自復(fù)旦大學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的一個(gè)團(tuán)隊(duì)在科學(xué)期刊網(wǎng)站發(fā)表了一篇名為“Development of Broadband High-Frequency Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Array”研究報(bào)告，該報(bào)告為通過在PMUT(壓電微機(jī)械超聲換能器)中添加以PDMS(聚二甲基硅氧烷)為襯底材料的背襯層使得在不改變?cè)叽绱笮〉那闆r下讓器件的帶寬加倍。壓電薄膜材料是PMUT器件中的核心零部件，而此項(xiàng)研究實(shí)驗(yàn)中的壓電薄膜材料正是來自我司——卓膜科技有限公司。卓膜科技研發(fā)團(tuán)隊(duì)在其提供的硅基襯底上進(jìn)行“電極材料（Ti/Pt）”和“PZT(鋯鈦酸鉛)壓電薄膜”沉積。PZT壓電薄膜在通電后會(huì)產(chǎn)生形變和超聲脈沖，實(shí)驗(yàn)正是利用其這特性完成。在此實(shí)驗(yàn)中，使用 10 ns 長的 30 V 脈沖對(duì)器件進(jìn)行測試，在空氣中，PMUT 的諧振頻率為 19.0 MHz。PZT壓電薄膜在此次實(shí)驗(yàn)中展現(xiàn)出穩(wěn)定性好，耐高壓，反應(yīng)靈敏等優(yōu)點(diǎn)。

現(xiàn)有研究發(fā)現(xiàn)使用PMUT成像比傳統(tǒng)B超超聲成像優(yōu)勢(shì)更大。傳統(tǒng)B超需要涂潤滑劑排除器械與皮膚之間的空氣，探頭大且只有一個(gè)探頭，需要來回掃描，而PMUT是多陣列技術(shù)則可以消除空氣影響直接使用，探頭小且擁有多個(gè)，只需一次掃描就可完成，用時(shí)更快更短；PMUT可以制作成為手持無線設(shè)備，影像直接傳輸?shù)绞謾C(jī)或其他設(shè)備，傳輸模式更方便快捷；PMUT器械比傳統(tǒng)B超更小，使用的電源小，方便攜帶，便利性更高。未來有很好的發(fā)展前景。卓膜科技可以在PMUT中提供材料和相關(guān)技術(shù)支持。

下面為摘自原文圖3中的PMUT多陣列圖：

摘自原文圖3