壓電薄膜由于具有比較優(yōu)異的性能，所以應(yīng)用比較廣泛?？梢杂脡弘姾衲碇圃於喾N微型器件，如微泵、超聲馬達(dá)、諧振器、熱釋電厚膜傳感器、厚膜執(zhí)行器、微能量拾取器等。

1、水聽器和聲納器

2、防污

3、醫(yī)學(xué)

4、電極

5、航空和航海

6、結(jié)構(gòu)監(jiān)測

PVD F 壓電薄膜在結(jié)構(gòu)監(jiān)測方面也有了一定的應(yīng)用。對采用PVDF壓電薄膜監(jiān)測結(jié)構(gòu)的基本特性進(jìn)行了較為系統(tǒng)的研究 , 做了PVDF壓電薄膜監(jiān)測結(jié)構(gòu)的動(dòng)靜態(tài)響應(yīng)試驗(yàn)。 同時(shí)，對于用PVD F 壓電薄膜監(jiān)測結(jié)構(gòu)的沖擊載荷也進(jìn)行了初步的研究，結(jié)果表明采用PVDF壓電薄膜可以實(shí)時(shí)監(jiān)測結(jié)構(gòu)所受的沖擊載荷 , 并能及時(shí)反應(yīng)出結(jié)構(gòu)所受到的沖擊損傷。

由于壓電薄膜材料的應(yīng)用越來越廣泛，在未來會(huì)得到很好的發(fā)展。壓電薄膜的制備技術(shù)也會(huì)向著高效率、低成本、高質(zhì)量的方向發(fā)展。由于CVD法具有更好的覆蓋性，可以在深孔、階梯、洼面或其他復(fù)雜的三維形體上沉積。